杰宜斯请求半导体制作设备及其操控办法专利能操控半导体制作设备

来源:米乐体育官方下载    发布时间:2025-04-14 20:32:33

  金融界2025年1月18日音讯,国家知识产权局信息数据显现,杰宜斯科技有限公司请求一项名为“半导体制作设备及其操控办法”的专利,公开号 CN 119314902 A,请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现,本发明多个施行例触及半导体制作设备,该半导体制作设备可包含:多个杯部,用于收回工序期间喷发的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以调理所述杯部的上下方位;多个压力阀,用于驱动气缸以调理所述杯部的上下方位;以及处理器,用于操控所述马达驱动模块及所述压力阀。

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