金融界2025年1月18日音讯,国家知识产权局信息数据显现,杰宜斯科技有限公司请求一项名为“半导体制作设备及其操控办法”的专利,公开号 CN 119314902 A,请求日期为2024年7月。
专利摘要显现,本发明多个施行例触及半导体制作设备,该半导体制作设备可包含:多个杯部,用于收回工序期间喷发的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以调理所述杯部的上下方位;多个压力阀,用于驱动气缸以调理所述杯部的上下方位;以及处理器,用于操控所述马达驱动模块及所述压力阀。
上一篇:法律管不了中国电信中国电信自己定规定说啥就是啥
下一篇:瑞安华德液压获得液压机主动进出模结构专利进步出产功率
在线咨询
快速报价
最新资讯
返回顶部